测量传感器技术参数：
测量原理 共焦测量（非接触式）
测量物镜
10X 20X 50X 100X
Z轴测量范围
400um
工作距离
1mm
Z轴分辨率
10nm 3nm 2nm 1nm
侧向分辨率
1.98um 1um 0.396um 0.198um
FRT三维轮廓测量仪
设备包括：
● 共焦测量传感器confocal Microscope
● 花岗岩测量工作台100mmX100mm
● 计算机控制和电器柜
● MARKIII测量分析软件包
● 数据输出装置