FRT薄膜厚度测量仪
薄膜层厚测量传感器 FTR
薄膜层厚测量传感器FTR为专用的膜层测量仪器，通过于MicroProf型MicroGlider 型结合使用，可应用于各种高精度的测量场合，其层厚分辨率可达1nm；非接触无损测量更拓宽了其应用场合；如光学镀膜加工（膜层厚度、消光系数等参数）；半导体硅片表面膜层分析；氧化表面微细分析、漆膜等等
薄膜层厚测量传感器FTR技术参数：
测量原理
反射测量（非接触）
光源
卤素灯
氚-卤素灯
波长范围
400—850nm
650—1100nm
400—1100nm
250nm—850nm
250—1100nm
层厚测量范围
50nm-20um
70nm-70um
50nm-100um*
10nm-20um
10nm-70um
层厚分辨率
1 nm
X,Y轴分辨率
0.1um
注：*----可选1um—250um