测焦仪-北京德华

EFL+/-

OptiSpheic

OptiSpheric L

OptiSpheric Autofocus

OptiSpheric L Autofocus

OptiSpheric 1000 Autofocus

标准测量范围

+5 … +250mm

-5 … -250mm

+5 … +500mm

-5 … -450mm

+5 … +250mm

-5 … -250m

+5 … +500mm

-5 … -450mm

+5 … +1000mm

-5 … -1000mm

扩展测量范围

1 … 5mm

1 … 5mm

1 … 5mm

可达1000mm

 可达2000mm

样品直径

1 … 35(75)mm

1 … 35(75/150)mm

1 … 35(75)mm

1 … 35(75/150)mm

1 … 75(150)mm

重复性

0.03 … 0.2%

测量精度

5 …25mm: 0.1 … 0.3%

25 … 500mm: 0.03% … 0.1%

500 … 1000mm: 0.05% … 0.3%

测量时间

手动聚焦：3 … 20秒

测量时间：鼠标点击

**测量：5 … 8秒

后续测量： 3 … 5秒

在轴MTF测量

OptiSpheic

OptiSpheric L

OptiSpheric Autofocus

OptiSpheric L Autofocus

OptiSpheric 1000 Autofocus

测量范围

**MTF测量：    5 … 75mm EFL

**MTF测量：       5 … 75mm EFL

**MTF测量：    5 … 75mm EFL

**MTF测量：       5 … 75mm EFL

**MTF测量：          5 … 100mm EFL

测量模式

手动聚焦，自动测量

自动聚焦，自动测量

波长范围

400 … 750(1000)nm

空间频率

0 … 300(500)lp/mm

刀口分析

●  重复性

2%

3%

狭缝评价

●  重复性

●  精 度

1%

2%

BFL/FFL

曲率半径

OptiSpheic

OptiSpheric L

OptiSpheric Autofocus

OptiSpheric L Autofocus

OptiSpheric 1000 Autofocus

测量范围

+/-3…+/-250mm

+/-3…+/-400mm

+/-3…+/-200mm

+/-3…+/-400mm

+/-5…+/-500mm

重复性

0.03 … 0.2%

测量精度

0.05% … 0.3%

透射和反射法测量中心偏差

OptiSpheic

OptiSpheric L

OptiSpheric Autofocus

OptiSpheric L Autofocus

OptiSpheric 1000 Autofocus

测量范围

+/-3…+/-250mm

+/-3…+/-400mm

+/-3…+/-200mm

+/-3…+/-400mm

+/-5…+/-500mm

可扩展到+/-2000mm

重复性

+/- 0.1微米或者+/-1秒

测量精度

+/- 0.2微米或者+/-2秒

测量时间

3 … 15秒

角度测量

OptiSpheic

OptiSpheric L

OptiSpheric Autofocus

OptiSpheric L Autofocus

OptiSpheric 1000 Autofocus

分辨率

0.01秒

重复性

0.2秒

测量精度

1秒