XONOX VT系列立式球面激光干涉仪特点： ---高精密气浮隔震系统，适合于光学加工车间现场检测 ---采用气浮垂直移动导轨，移动快速准确，最大移动范围1200mm，直线度可达3um ---可选装经济型的4寸干涉仪主机，配置静态光圈测量分析软件，代替传统的样本检测，方便快捷，DIN或ISO测量结果显示。 ---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉仪主机，ZYGO专业测量分析软件，适合更高端用户使用。 ---配置线性光栅尺，曲率半径测量精度+/-3um；小曲率半径测量装置可选，测量精度+/-1um（+/-60mm测量范围） ---配置XONOX 4+测量物镜，最大测量口径为130mm，曲率半径测量范围可达1150mm ---连接上电源与压缩空气就可以使用，无需额外配置
详细技术参数：