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产品资料

超高真空排气台

超高真空排气台
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：超高真空排气台
  • 产品型号：CP1 CP2 CP3 CP4 CP5 CP6 CP7 CP8 CP9
  • 产品展商：其他品牌
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简单介绍
用于电真空器件的排气工艺过程 极限真空度3×10-7Pa～5×10-9Pa 烘箱*高温度:600℃. 程序温控精度＜±1℃ 有单工位、双工位、多工位等多种型号 有不同尺寸的多种型号
产品描述

超高真空排气台

用于电真空器件的排气工艺过程

极限真空度3×10-7Pa～5×10-9Pa

烘箱*高温度:600℃. 程序温控精度＜±1℃

有单工位、双工位、多工位等多种型号

有不同尺寸的多种型号

 

类型 参数
配置
CP1
CP2
CP3
CP4
CP5
CP6
CP7
CP8
CP9
工位数量
2
5~14
1
2
1
1~4
2
3
2
机组
机械泵
分子泵
离子泵
（低温泵）
干泵
分子泵
离子泵
（低温泵）
机械泵
分子泵
离子泵
机械泵
分子泵
离子泵
机械泵
分子泵
离子泵
离子泵
吸附泵
机械泵
分子泵
机械泵
分子泵
离子泵
机械泵
分子泵
离子泵
极限真空
5×10-8Pa
5×10-8Pa
2×10-7Pa
2×10-7Pa
4×10-7Pa
8×10-7Pa
5×10-6Pa
5×10-7Pa
8×10-8Pa
有效加热区
φ600*1200
φ500*1000
φ600*1200
φ500*600
φ800*2000
φ500*600
φ500*1200
φ800*400
φ1100*3000
烘箱温度
600℃
600℃
550℃
550℃
550℃
500℃
550℃
450℃
600℃
烘箱真空度
2Pa
2Pa
2Pa
2Pa
2Pa
常压
2Pa
常压
5*10-3Pa
升降类型
双柱机械升降
双柱机械升降
单柱液压升降
单柱液压升降
单臂侧开门
单柱液压升降
双柱机械升降
双柱龙门式机械升降
吊装
升降高度
1200
1000
600
600
无
600
1200
500
3000
控制类型
手动+自动
手动+自动
手动+自动
手动
手动+自动
手动+自动
手动
手动
手动+自动
*大功率
30kw
30kw
15kw
15kw
55kw
12kw
20kw
12kw
80kw
               

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