空间滤波器
主要应用在激光的研究领域。
部件组成：钛泵、真空管道、可调节光栏和透镜等部件
工作真空度： 1×10-3Pa
真空维持时间： 3 个月以上。
用于需要精密真空封装器件的真空排气和充气。
纯无油环境
极限真空度： 3×10-4pa