阴极预处理台
用于阴极预处理
极限真空度3 * 10-5Pa
全程控工艺过程
多工位可多达14个
用于阴极除气
石英钟罩式除气工位口,利于观察测温,方便装卸工件
极限真空度3*10-4Pa
2~3个工位
用于研究阴极表面发射特性
极限真空度:5*10-8Pa
可移动阴极,**的传动和定位系统
专