特色:
◆ 科研制备理想的旋涂仪;
◆ NPP或Teflon材质构造;
◆ 150毫米,200毫米和300毫米三种腔体大小;
◆ 可选择台式,立式和特殊环境内置式不同外形;
◆ *大转速可达10000RPM;
◆ 易编程的数码控制器(400/500型控制器);
◆ 可升级成为自动滴胶型;
请根据您实际需要的大小和材质选择相应的旋涂仪型号:
WS-400B-6NPP-LITE
◆NPP材质台式
◆8.5英寸 (216 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
◆理想的旋转涂敷仪
◆销量*好的台式系统
WS-400B-6NPP-LITE-IND
◆NPP材质内置式带远程控制器
◆8.5英寸 (216 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6NPP-LITE-OND
◆NPP材质外置式带远程控制器
◆8.5英寸 (216 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-8NPP-LITE
◆NPP材质台式
◆12.5英寸 (318 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8NPP-LITE-IND
◆NPP材质内置式带远程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
◆销量*好的wet-bench型系统
WS-400B-8NPP-LITE-OND
◆NPP材质外置式带远程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE
◆PTFE 材质台式
◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐(接近零孔隙度)玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE-IND
◆PTFE材质内置式带远程控制器
◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐(接近零孔隙度)玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE-OND
◆PTFE材质外置式带远程控制器
◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐(接近零孔隙度) 玻璃
◆8.5英寸 (216 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE
◆PTFE材质台式
◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE-IND
◆PTFE材质内置式带远程控制器
◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE-OND
◆PTFE材质外置式带远程控制器
◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐(接近零孔隙度)玻璃
◆12.5英寸 (318 毫米) 直径 桶状处理腔
◆可以涂敷*大直径为8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
WS-400-15NPP-LITE
◆NPP材质台式
◆直径为14.5英寸 (370 毫米)半圆形处理腔
◆可以涂敷*大直径为13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我们提供的*大NPP系统
WS-400-15NPP-LITE-IND
◆NPP材质内置式带远程控制器
◆直径为14.5英寸 (370 毫米)半圆形处理腔
◆可以涂敷*大直径为13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我们提供的*大NPP系统
WS-400-15NPP-LITE-OND
◆NPP材质外置式带远程控制器
◆直径为14.5英寸 (370 毫米)半圆形处理腔
◆可以涂敷*大直径为13英寸 (330 毫米)的基底材料
◆我们提供的*大NPP系统
高精度数控匀胶机 MS400/MS500/MS650
适合半导体硅片,晶片,化学化工基片,导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆
旋涂样片直径*小可到3毫米,*大可达330毫米。
高精度数码控制器:
可设定存储20个不同样片的旋涂程序段;
每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
随意任意时间范围的加减速,可重复性达到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM;
液晶显示屏可以实时读取任意速度状态
超准的速度控制:
我们的数码速度控制器采用的是一个高计数位的光学编码器输入至伺服马达控制器,其设置点精度小于0.006%(遵照美国NIST激光测量标准),无需校准;
20个51步程序段或者手动模式,非常方便设定速度和加速度程序段, 1~10000RPM的稳定转速可以随意设定!
需要更详细的咨询,请与内地营销服务中心 邓先生,刘先生联系
Tel:(上海)(武汉) mobile:0QQ:7155874 Email:aaron_deng@126.com,aaron_deng@mycro.com.cn MSN:aaron_deng@hotmail.com aaron_deng@kobuyonline.com
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