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产品资料

MYCRO韩国产紫外曝光机/光刻机

MYCRO韩国产紫外曝光机/光刻机
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:MYCRO韩国产紫外曝光机/光刻机
  • 产品型号:MDA-8000
  • 产品展商:其它品牌
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
晶片工作台 基底尺寸 *大可达8英寸 *大可达25英寸转头 *大可达8英寸 *大可达25英寸活动范围 X 10mm Y 10mm Z 5mm Theta 4 degree 对准精度 1um
产品描述
晶片掩膜间隙       自动挤入补偿      
振动保护       配备抗振平台      
Z的西塔轴运动    Motorizing 马达驱动   
真空系统       无油真空泵   
Mask stage
掩膜台          
掩膜夹取类型       真空*剪辑
      
相邻间隙       掩膜与晶片接触    间隙球
紫外光源             
紫外灯    1千瓦     可达8千瓦
均匀光束大小       8.25x8.25英寸      可达25x25英寸
曝光模式       压力/真空/相邻    
曝光时间控制       可编程的      
曝光定时器    1 ~ 999.9       
显微镜          
型号       双变焦范围显微镜与CCD镜头 
监视器    LCD监视器  
视频模式       单一和剪辑型    
放大倍数       80 ~ 500    1,000
聚焦方式       手动的    自动的(可视化软件)
目标间距       可调的   
 控制系统           
控制器    电脑或单片机控制      
掩膜(用户自定义)       
图案形状       用户自定义   
掩膜厚度(用户自定义)       
尺寸       可达9英寸掩膜    用户自定义
 
系统组件:
紫外光源构造
带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
监视器
掩膜夹具
紫外光源透镜
紫外光源镜片
紫外灯电源供应系统
操作控制器
防振平台
1KW紫外灯
需要更详细的咨询,请与内地营销服务中心 邓先生,刘先生联系
Tel:(上海)(武汉) mobile:0 QQ:7155874 Email:aaron_deng@126.com,aaron_deng@mycro.com.cn MSN:aaron_deng@hotmail.com aaron_deng@kobuyonline.com
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