MYCRO韩国产紫外曝光机光刻机 MDA-8000 维思特科仪有限公司

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产品名称：MYCRO韩国产紫外曝光机/光刻机
产品型号：MDA-8000
产品展商：其它品牌
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简单介绍

晶片工作台基底尺寸 *大可达8英寸 *大可达25英寸转头 *大可达8英寸 *大可达25英寸活动范围 X 10mm Y 10mm Z 5mm Theta 4 degree 对准精度 1um

产品描述

晶片掩膜间隙自动挤入补偿

振动保护配备抗振平台

Z的西塔轴运动 Motorizing 马达驱动

真空系统无油真空泵

Mask stage

掩膜台

掩膜夹取类型真空*剪辑

相邻间隙掩膜与晶片接触间隙球

紫外光源

紫外灯 1千瓦可达8千瓦

均匀光束大小 8.25x8.25英寸可达25x25英寸

曝光模式压力/真空/相邻

曝光时间控制可编程的

曝光定时器 1 ~ 999.9 秒

显微镜

型号双变焦范围显微镜与CCD镜头

监视器 LCD监视器

视频模式单一和剪辑型　

放大倍数 80 ~ 500倍 1,000倍

聚焦方式手动的自动的（可视化软件）

目标间距可调的

控制系统

控制器电脑或单片机控制

掩膜(用户自定义)

图案形状用户自定义

掩膜厚度(用户自定义)

尺寸可达9英寸掩膜用户自定义

系统组件：

紫外光源构造

带托盘的晶片工作台

配CCD镜头的显微镜

监视器

掩膜夹具

紫外光源透镜

紫外光源镜片

紫外灯电源供应系统

操作控制器

防振平台

1KW紫外灯

需要更详细的咨询，请与内地营销服务中心邓先生，刘先生联系

Tel:(上海)(武汉) mobile:0 QQ:7155874 Email:aaron_deng@126.com,aaron_deng@mycro.com.cn MSN:aaron_deng@hotmail.com aaron_deng@kobuyonline.com

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