产品性能特点：
-面形测量PV,RMS,IRR,POWER,1/20精度
-曲率半径测量功能，1um精度
-曲率半径条件下测量光圈N,输入到数控抛光机中修光圈，省去光学样板成本
-提高4英寸干涉仪60%覆盖范围
-高效，气浮移动载物台，微调器，减少预调时间，半径相同镜片可连续测量
-高**性，气浮无摩擦移动，不掉落样品，配重平衡系统，载物台无倾斜移动
-高稳定性，气浮隔振，导轨+气浮台+干涉仪集成一体防震设计，可在车间内震动环境下依然保持高测量精度
-软件中输入被测样品曲率，口径，自动推荐*合适的标准镜
-设备耐用，非接触测量，无损耗
-提供适合车间使用的标准镜更换夹具
-高速条纹分析软件，自动判别合格品,质量趋势统计，合适车间使用
-可升级客户已有ZYGO干涉仪
工作范围
*小1200mm行程，（1400mm线性量尺），150mm测量口径（取决于使用的TS）千分微调器，可容易并精密的找到猫眼和球心位置
干涉仪主机
_4英寸菲索干涉仪主机，6倍光学变焦，静态条纹分析系统
_6英寸菲索干涉仪主机，6倍光学变焦，相移条纹分析系统，压电移相器 _球面干涉仪测量工作站（不含干涉仪主机），集成客户已有干涉仪，
测量系统
**测量（线性量尺），数显单元，附加SPM-plus小曲率测量附件（可选）或 激光测距系统
测量精度
+/- 1μ
设备尺寸
800 x 900 x 2400 mm，平板电脑或PC
重量
600 kg
安装条件
110-240 V / 50-60 Hz,压缩空气6bar
颜色
浅灰色