产品性能特点:
-适合非球面检测,可测量复杂光学系统,如卡塞格林系统
-高效,灵活,随时轻松搭建复杂测量系统,线性光栅尺定位,气浮承载台,无摩擦移动,测量不同规格样品,只需简单微调
-精密测量曲率半径,1um精度
-曲率半径条件下,测量光圈数N,光圈N可输入CNC抛光机或者磁流变抛光机中使用,取代光学样板,节省制造成本
-面形测量PV,RMS,IRR,POWER
-搭载多个载物台,适合大口径非球面检测
-高精准, 高精密线性导轨,无畸变,无倾角
-高稳定性,立柱+气浮台+干涉仪集成一体,**的减震性能
-高性价比XONOX静态条纹分析软件,或高精密的相位条纹分析系统
-XONOX干涉仪软件适合车间使用,自动存储,自动判别,质量趋势统计
-配置高性价比XONOX 4寸(6寸)FIZEAU干涉仪,6x光学变焦,
-也可升级客户已有ZYGO干涉仪
工作范围
*小1200mm行程,(1400mm线性量尺),千分微调器,可容易并精密的找到猫眼和球心位置
干涉仪主机
_4英寸菲索干涉仪主机,6倍光学变焦,静态条纹分析系统
_6英寸菲索干涉仪主机,6倍光学变焦,相移条纹分析系统 _非球面干涉仪测量工作站(不含干涉仪主机),集成客户已有干涉仪,
测量系统
线性量尺,数显单元,附加SPM-plus小曲率测量附件(可选)或 激光测距系统
测量精度
+/- 1μ
设备尺寸
2500 x 1200 x 1200 mm,平板电脑或PC
重量
600 kg
安装条件
110-240 V / 50-60 Hz,压缩空气6bar