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产品资料

球面镜片测量平面激光干涉仪

球面镜片测量平面激光干涉仪
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  • 产品名称:球面镜片测量平面激光干涉仪
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简单介绍
干涉仪 激光干涉仪 激光平面干涉仪 球面干涉仪
产品描述

产品性能特点:

-适合非球面检测,可测量复杂光学系统,如卡塞格林系统

-高效灵活,随时轻松搭建复杂测量系统,线性光栅尺定位,气浮承载台,无摩擦移动,测量不同规格样品,只需简单微调

-精密测量曲率半径,1um精度

-曲率半径条件下,测量光圈数N,光圈N可输入CNC抛光机或者磁流变抛光机中使用,取代光学样板,节省制造成本

-面形测量PV,RMS,IRR,POWER

-搭载多个载物台,适合大口径非球面检

-高精准, 高精密线性导轨,无畸变,无倾角

-高稳定性,立柱+气浮台+干涉仪集成一体,**的减震性能

-高性价比XONOX静态条纹分析软件,或高精密的相位条纹分析系统

-XONOX干涉仪软件适合车间使用,自动存储,自动判别,质量趋势统计

-配置高性价比XONOX 4寸(6寸)FIZEAU干涉仪,6x光学变焦,

-也可升级客户已有ZYGO干涉仪


工作范围

*小1200mm行程,(1400mm线性量尺),千分微调器,可容易并精密的找到猫眼和球心位置

干涉仪主机

_4英寸菲索干涉仪主机,6倍光学变焦,静态条纹分析系统

_6英寸菲索干涉仪主机,6倍光学变焦,相移条纹分析系统
_
非球面干涉仪测量工作站(不含干涉仪主机),集成客户已有干涉仪,

测量系统

线性量尺,数显单元,附加SPM-plus小曲率测量附件(可选)或 激光测距系统

测量精度

 +/- 1μ

设备尺寸

2500 x 1200 x 1200 mm,平板电脑或PC

重量

600 kg

安装条件

110-240 V / 50-60 Hz,压缩空气6bar



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