高精度三维测量系统
测量软件: IEW Metrology Software (VMS) 选配： Elements 测量软件 选配： Measure-X 测量软件
选配软件模块: • 区域多极聚焦 • SmartProfile® 3D GD&T 评测软件 • 先进的图像滤波，图像拼接，用户自定义界面 • VMS 离线工作站软件 • 数字 IO
特征
标配
选配
X,Y,Z行程(mm)
200 x 200 x 5
200 x 200 x 100
XY载物台
Hand crafted, precision lapped compound stage
Z轴
Micro Focus Block™ microflexure focus assembly
扩展Z轴运动，精密空气轴承运动和线性马达驱动
X,Y,Z刻度分辨率
0.01μm
载物台驱动
X,Y轴连杆驱动直流伺服；Z轴旋转直流伺服
推荐负载
12 kg
成像光学
Olympus显微镜光学系统, 包含卧式明暗场照明器，五孔电动物镜转盘，带目镜倾斜三目观察筒和标准摄像机接口
前透镜（可现场更换）
10X明场物镜 50X长工作距离明场物镜
5X明场物镜或明暗场物镜 10X明场物镜或明暗场物镜 20X长工作距离明场物镜或明暗场物镜 50X长工作距离明场物镜或明暗场物镜 100X长工作距离明场物镜或明暗场物镜
测量相机
140万像素 (1392 x 1040), 1/2-inch, 数码, 黑白摄像机
200万像素(1628 x 1236), 数码,黑白摄像机
照明装置
全光谱、可调节卤钨同轴表面光
带N.A.调节绿色LED透射光
传感器选项
Integrated photo spectrometer for photoresist and thin film thickness measurements
操作系统
四核处理器， Windows ® 7 操作系统，集成网络和通信端口
控制器配件包
3轴操作杆控制手动载物台, 带急停按钮和开始按钮
单LCD 平板显示器, 键盘和鼠标 双LCD 平板显示器, 键盘和鼠标
电源供应
115/230 VAC, 50/60 Hz, 1-Phase, 700W
额定环境
温度: 20°C ± 0.2°C 相对湿度: 30% - 80% 振动: ISO VC-B
振动: 使用150X物镜时ISO VC-C
X,Y线性精度1,2,3,4
E1: (0.25+2L/1000) μm
Z轴线性精度1,2,5
E1: (0.25) μm (使用100x物镜)
说明：所有参数均是在20°C恒温环境下得到
1.温度变化率: 1° C/小时；2. 垂直温度梯度: 1° C/m 3. 在匀速状态下均匀分布载荷5KG 4. XY区域accuracy artifact:在标准测量平面QVI网格分划板或者QVI线条刻度。定义25mm工作台表面为标准测量平面。 5. Z轴 accuracy artifact: QVI step gage, interferometer or master gage blocks
Precis的应用范围包括： 半导体/电子 PCB板与Stencil 光罩 引线框，引线接合，柔性线路板，连接器 SMT元件贴装 锡膏/环氧数脂胶点 芯片载体和托盒 喷墨打印机墨盒
数据存储 磁盘介质基板 滑块和悬臂组(HGA) Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和机加工件 模具和刀具 医疗设备 燃料喷射部件 手表组件
VIEW Precis 200 美国QVI品牌高精度影像测量仪
Precis 主要用于以下应用： - 亚微米测量： ◆ 微器件和电子元器件封装、引线框 ◆ 微型球状引脚栅格阵列封装 ◆ 硬盘驱动臂、探针卡、刀片 - CD 和套刻测量： ◆ 线宽、涂覆层 ◆ MEMS 器件、接触窗、喷墨打印头 ◆ 硬盘驱动头、磁头等