***的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500
高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI(压力不敏感型)质量流量模块
高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统
新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围
先进G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力
先进的三维调节已改进工艺气体的流量精度
响应速度<0.8秒 已实现精准且稳定的流量控制
控制范围:0.2% F.S. ~ 100% F.S.
制造: HORIBA STEC
粤公网安备 51012402000291号