多范围/多气体的数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

• 概要
• 規格

概要

HORIBA销售量**的数字式气体质量流量控制器，包含多气体/多量程功能以实现自由快速更改气体种类或满量程。
压电陶瓷阀实现高精度±  1.0% S.P.，快速响应，有效提高良率及简化备件管理。

特征

• 高精度±1.0% S.P.
  HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现所有量程上的高精度。为了更真实的反应实际气体精度，HORIBA STEC监测了不同的工艺气体并创建了针对不同气体的校正数据，建立标准气体管理系统，实现真实气体精度确认。
• 高速响应
  装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改，也能不会影响PID功能。
• 多气体，多量程解决方案
  HORIBA的配置软件可简单快速的更改MFC的规格。更好的是MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举有效减少MFC库存需求，极大减少时间和成本的浪费。

制造: HORIBA STEC