数字式质量流量控制器 SEC-N100 系列

• 概要
• 規格

概要

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

特征

• 大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
• 多种通讯方式及电源供给

型号	选择通讯方式	选择供电方式
SEC-N102 系列	数字式信号传输 ▶RS485 F-NET协议 模拟式通讯 ▶0～5VDC	HORIBA可提供PE系列供应电源
SEC-N104 系列	DeviceNet™ 通讯	符合ODVA标准
SEC-N105 系列	CC-Link®通讯 模拟式通讯 ▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA	符合  CC-Link®标准 24VDC(13 ~ 32VDC)
SEC-N106系列	PROFIBUS™ 通讯方式	符合PROFIBUS™ 标准 24VDC(13 to 32VDC)
	模拟式通讯
	▶0 to 5VDC, 0 to 10VDC　4 to 20mA
SEC-N107系列	EtherCAT® 通讯方式	符合EtherCAT®标准 24VDC ± 4V

• 高精度：±1.0% S.P. (*1)
• 1秒内快速响应 (*1)
• 多气体，多量程解决方案

(*1)包括SEC-N17XR

多气体，多量程的功能可使用软件方便的更改MFC的气体或满量程流量。

制造: HORIBA STEC