它是搭载有温控阀的基本型号。 利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。 高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。
制造: HORIBA STEC
粤公网安备 51012402000291号