高温应用质量流量控制器 SEC-8000F/D/E系列

• 概要
• 規格

概要

SEC-8000F/D/E 系列, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之**别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。 而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。

特征

• 具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度：±1.0% 设定流量.
• 超快速响应
• 超洁净处理
• 满足RoHS 环境标准

制造: HORIBA STEC