功能齐全 重庆内藤销售 FE-5000 光谱椭偏仪 OTSUKA大塚電子

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• 椭圆参数测量可以在紫外和可见光（250-800nm）的波长范围内进行
• 纳米级多层薄膜的厚度分析
• Ellipso光谱可以通过400多ch的多通道光谱快速测量
• 对应于通过可变反射角度测量的薄膜的详细分析
• 通过创建光学常数数据库并添加配方注册功能，可以增强操作的便利性
• 可以通过层膜配合分析通过光学常数测量来控制膜厚度/膜质量

• 椭圆参数（tanψ，cosΔ）测量
• 光学常数（n：折射率，k：消光系数）分析
• 薄膜厚度分析

• 半导体晶片
  的栅氧化膜，氮化物膜
  的SiO 2，硅X ö ÿ，氮化硅，的SiON，氮化硅X，AL 2 ö 3由SiN X ö ÿ，多晶Si，硒化锌，BPSG，氮化钛
  的抗蚀剂（波长色散）的光学常数
• 化合物半导体
  Al x Ga （1-x） As多层膜，非晶硅
•  用于等离子显示器的FPD
  定向膜
  ITO，MgO等
• 各种新材料
  DLC（Diamond Like Carbon），超导薄膜，磁头薄膜等
• 光学薄膜
  TiO 2，SiO 2，多层膜，减反射膜，反射膜
• 光刻领域
  g线（436纳米），h线（405纳米），i线（365纳米）中，n在各波长，诸如KrF受（248nm的）中，k评价

* 1可以驱动偏光片，可以去除对死区有效的延迟片。
* 2取决于短轴·角度。
* 3小点对应（选项）
* 4使用VLSI标准SiO2膜（100nm）时的值。
* 5可以在此波长范围内进行选择。
* 6光源根据测量波长而变化。
* 7选择自动舞台时的值。

原则

包括s波和p波的线性偏振光入射到样本上，并测量反射光的椭圆偏振光。s波和在相位p波的变化和独立地振幅比tanψ和p波和S波的反射率的相位差的两个偏振取决于获得样品Δ的转换参数。

tanψ，consΔ被称为椭球参数，椭圆光谱法测量这两个参数的波长相关谱。