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产品资料

功能齐全 重庆内藤销售 SF-3 光谱干涉式晶圆测厚仪 OTSUKA大塚電子

功能齐全 重庆内藤销售 SF-3 光谱干涉式晶圆测厚仪 OTSUKA大塚電子
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:功能齐全 重庆内藤销售 SF-3 光谱干涉式晶圆测厚仪 OTSUKA大塚電子
  • 产品型号:SF-3
  • 产品展商:OTSUKA大塚電子
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简单介绍
配备原装分析引擎 功能齐全 重庆内藤销售 SF-3 光谱干涉式晶圆测厚仪 OTSUKA大塚電子 采用独特的厚度测量*佳分析算法 功能齐全 重庆内藤销售 SF-3 光谱干涉式晶圆测厚仪 OTSUKA大塚電子 厚度分布可以自动映射
产品描述
特点
  • 厚度可以通过光学方法非接触式/非破坏式地测量
  • 频谱分析后进行调节
  • 抛光监控可以实时高速进行
  • 测量中间层,如保护膜,窗口材料是可能的
  • 多层厚度分析
  • 配备原装分析引擎(正在申请**)
  • 采用独特的厚度测量*佳分析算法?(**)
  • 厚度分布可以自动映射

 (详情请咨询TEL: QQ;1280713150 白先生)

测量项目
  • 薄膜厚度分析(5层)

 

应用程序使用
  • 硅元件厚度的评估
  • 研磨评估硅和化合物半导体
  • 1.3毫米新一代450毫米晶圆
  • 775微米300毫米晶圆
  • TSV晶圆(测量通孔上的Si膜和Si层膜)
  • 也适用于硅晶片以外的材料广泛适用(SiO 2,树脂薄膜)
产品规格
模型 SF-3
厚度测量范围 0.1μm至10μm,15μm至1000μm,10μm至775μm *,50μm至1600μm*
重复性 0.01%以下
测量时间 *快200μs(5 kHz)
测量光源 半导体光源
测量直径 *小φ6μm
WD 取决于10毫米或更多的任意距离
123(W)×224(D)×128(H)mm(不包括突起)
设备配置

SF-3设备配置



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