CMP化学产品专用多组分浓度计

FUJI富士工业 CMP化学产品专用多组分浓度计 FUD-1 Model-53

多组分浓度计特点
可以实时测量三种成分中两种的浓度模拟DC4-20mA（2线）和数字RS232C是标准设备。
标准配备测量误差输出和报警输出
标准配备自诊断功能和错误信息显示
小型、轻量的单元型发射器可以直接安装在生产线上。
 
优点
可实现高精度连续测量
免维护，无需定期调整或校准
安装方便，安装过程中无需进行各种调整
通过实时输出轻松反馈流程

目的
CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度管理等。
清洗过程中的清洗液浓度管理等（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）
蚀刻过程中蚀刻液浓度控制（TMAH+抗蚀剂、TMAH+Si等）