单组分浓度计（高精度）

FUJI富士工业 单组分浓度计（高精度）FUD-1 Model-130

特点：

• 可实现高精度连续测量
• 免维护，无需定期调整或校准
• 安装方便，安装过程中无需进行各种调整
• 通过实时输出轻松反馈流程
• 在半导体制造工艺等需要高精度和高稳定性浓度计的情况下非常有效

目的
CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度管理等
稀释过程中各种化学品浓度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）
清洗过程中清洗液浓度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA等）
蚀刻过程中蚀刻液浓度控制（HF、H2SO4等）