INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件,以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。INFICON 馈入件还配备了 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头,用于轻松安装和传感器长度调整。根据要求可提供其他馈入件款式(KF40 等),因此请联系 INFICON 提出您的馈入件需求。除非另行说明,否则典型的馈入件电气连接包含一个同轴 BNC 连接器(大气端)和一个 Microdot®连接器(真空端)。此款式的电气连接旨在与真空电缆传感器(例如 INFICON 前装式单传感器、前装式双传感器、薄型单传感器、精选薄型双传感器、溅射传感器、CrystalSix 和 Crystal 12 传感器)配合使用。
备注:馈入件水管和空气管为 4.8 mm (3/16 in.) 外径。备注:薄型双传感器使用 4.8 mm (3/16 in.) 外径水冷管。 它们与配备馈入件的 Ultra-Torr 不兼容,需要管接头才能焊接到具有 4.8 mm (3/16 in.) 外径水冷管的标准馈入件。下表是基于传感器类型的馈入件要求和零件号的快速参考。
提供 2.54 厘米(1 英寸)螺栓或 CF40(2.75 英寸 ConFlat®)款式
可用的 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头
提供自定义馈入件配置
根据要求可提供其他馈入件款式