溅射传感器

INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。镀金铍铜传感器体和冷却管在溅射环境中可实现*佳冷却效果。传感器头内置的磁铁可抑制因外部磁场偏转溅射系统中的高能自由电子而引起的过热。后装式晶体支架设计便于更换晶体，更换时无需从系统中拆卸传感器头。

功能

镀金铍铜传感器体和冷却管可实现*佳冷却效果
磁铁可偏转自由电子，使其远离监控器晶体
利用可弯曲的水管轻松安装，灵活放置传感器
后装式晶体插入便于更换晶体

规格

类型		Sputtering Sensor
无水时的*高烘烤温度		105°C
小水流时的高工作等温环境温度		400° C
尺寸（*大外壳）		1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
水、空气和同轴长度		Standard 30 in. (76.2 cm)
晶体交换		Rear-loading
安装		Customer supplied
安装要求
馈入件		2 pass water with coax connector 2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043 1 in. Bolt – IPN 002-042
其他		1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes. 2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.
水流速		Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
材料
主体和支架		Au plated Be-Cu
弹簧、电气触点		Au plated Be-Cu
水管		Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
连接器		304 Stainless steel
绝缘体		99% Al2O3
电线		Teflon® insulated copper
焊料		Cadmium free silver and indium alloys
晶体		0.550 in. (1.4 cm) Diameter
磁铁		ALNICO 5 Alloy
可选闸门组件 750-005-G1 规格：
温度		130° C
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr（压缩接头）端接：
材料		304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度		Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
安装		1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接：
材料		304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度		Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
安装		Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

零件号

Sputtering Sensor
零件号	明细
750-618-G1	溅射传感器（仅传感器，不包括馈入件）

附件

名称	说明
QCM 传感器馈入件	QCM 传感器馈入件

Sputtering Sensor
零件号	明细
750-005-G1	用于溅射传感器的气动闸门组件（仅闸门组件，不包括传感器）
750-420-G1	电磁阀，24 伏（与带闸门和多晶体传感器配合使用）

耗材

名称	说明
石英监控器晶体	石英监控器晶体

备件

Sputtering Sensor
零件号	明细
007-023	陶瓷夹持器
007-049	Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007	止动弹簧（用于晶体支架）
007-047	Front Cover, Sputtering Sensor
007-009	DET, MAGNET
070-0440	Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442	定位环（安装到闸门组件的轴上）
070-0441	Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044	Teflon 螺钉（用于片簧）
082-029-P1	SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2	COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2	SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1	Retainer Spring, CrystalSix
750-115-P4	联轴器（安装到波纹管组件）
750-169-P4	用于气动闸门组件的波纹管组件
750-174-P2	母型同轴
750-175-P1	绝缘体（片簧下面）
750-188-P3	片簧
008-007	CRYSTAL SNATCHER
750-619-G1	Body, Sputtering Sensor
750-626-P1	Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
In-vacuum cables
321-039-G12	真空电缆，15.2 厘米（6 英寸）
007-252	真空电缆，30.5 厘米（12 英寸）
321-039-G11	真空电缆，61.0 厘米（24 英寸）
007-044	真空电缆，78.1 厘米（30.75 英寸）
007-059	真空电缆，91.4 厘米（36 英寸）
007-061	真空电缆，121.9 厘米（48 英寸）- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13	真空电缆，154.2 厘米（60 英寸）- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14	真空电缆，182.9 厘米（72 英寸）- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15	真空电缆，3.5 米（137.8 英寸）- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16	真空电缆，4 米（157.5 英寸）- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU

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