分子泵

型号

FZF-150/600

抽气速率（l/s）

600L/S

压缩比N­­­₂

>10_­­­⁹

压缩比H­­­₂

>8×10³

极限压强(Pa)

<2×10^-8 

<1×10^-7

高真空法兰

LF150

CF150

排气口法兰

KF40

启动加速时间（min）

<5min

电机转速（n/min）

24000n/min

*小不平衡量（mg）

15mg

建议采用前级泵

机械泵4～8L/S

充油量（ml）

/

安装方式

垂直±5°

冷却方式

水冷或风冷

冷却水温度

<20℃

环境使用温度（℃）

风冷<32℃  水冷<40℃

泵体烘烤温度（℃）

<100℃

泵重量（kg）

30kg

外形尺寸（mm）

￠280×416