分子泵

型号

FZF-400/3600

抽气速率（l/s）

3600L/S

压缩比N­­­₂

>10_­­­⁸

压缩比H­­­₂

>5×10²

极限压强(Pa)

<2×10^-6

高真空法兰

400ISO-K

排气口法兰

100ISO-K

启动加速时间（min）

<10min

电机转速（n/min）

12600n/min

*小不平衡量（mg）

15mg

建议采用前级泵

机械泵30L/S

充油量（ml）

/

安装方式

垂直±5°

冷却方式

水冷

冷却水温度

<20℃

环境使用温度（℃）

水冷<40℃

泵体烘烤温度（℃）

<100℃

泵重量（kg）

100kg

外形尺寸（mm）

￠430×490