型号
FZF-250/1600
抽气速率(l/s)
1600L/S
压缩比N2
>109
压缩比H2
>8×104
极限压强(Pa)
<2×10-8
<1×10-7
高真空法兰
LF250
CF250
排气口法兰
KF50
启动加速时间(min)
<7min
电机转速(n/min)
24000n/min
*小不平衡量(mg)
15mg
建议采用前级泵
机械泵15L/S
充油量(ml)
/
安装方式
垂直±5°
冷却方式
水冷或风冷
冷却水温度
<20℃
环境使用温度(℃)
风冷<32℃ 水冷<40℃
泵体烘烤温度(℃)
<100℃
泵重量(kg)
40kg
外形尺寸(mm)
¢340×427