1、探针台基座、样品盘及变温系统 - 材料：铜； - 尺寸：4英寸； - 样品盘移动(X:20mm Y:20mm)； - 温度控制系统，包括测量及显示系统； - 温度范围：-175℃ ~ 300℃ (低温使用LN2杜瓦及LN2管等低温附件)； 2、真空腔体： - 尺寸：650*500*350； - 互交通道(3EA, 支持6P连接器)； - 观察视窗(240mm, 耐热玻璃视窗)； 3、“Y”– 移动驱动器， “Z”– 移动驱动器； 4、X*Y移动平台 移动范围：20*20mm， 分辨率：10um， 重现性：1um； 5、针座： - 磁体固定，Adopted Plate Spring； - 移动范围：X-Y-Z 10-10-10 mm； - BNC/Triaxal电缆； - 针座螺旋分辨率：10um/pitch，重现性：1um； - 尺寸：70*28 mm； 6、Navitar zoom lens system 光学镜头系统； 7、真空泵： - 400升/分钟； - 油过滤器，真空夹钳，波纹管等真空附件； 8、探针： - 材料: tungsten, - Radius: 0.02”(Variable Radius: 0.7㎛,1.0㎛,1.2㎛,1.5㎛,2.0㎛,5㎛,20㎛)； 9、LN2杜瓦：15 L/min, 包括压力控制器； 10、真空连接器； 11、选配的数字CCD相机： - 控制软件，数字相机与显微镜兼容； - 成像传感器：1/2” 彩色CCD； - 分辨率：1.4Megapixel Camera(1280*1024)； - 装配类型：C-Mount类型； - 软件提供：USB2.0；
1、探针台温度变化范围：-175℃ ~ 300℃，连续变温无节点。 2、探针台进行“低温冷却”及“高温加热”无须更换腔体，用户可以自如操控探针台从液氮低温段至300摄氏度的高温段，变温迅速而且操作简便。 3、真空腔体有足够的空间，用户更容易进行显微镜、针座或电学设备的调整。 4、石英玻璃视窗，用户可以透过视窗观察腔体内部配置及样品状况。 5、**的互交连接器技术，使真空探针台更易于应用于直流及射频信号(DC & RF)，同时有助于温度显著变化调节下(Min: -175℃, Max:300℃)的光学及电学设备调整。 6、高精度定位螺旋系统； 7、样品盘：*多可以放置10套针座； 8、样品盘弹性构造设计：针座Z轴移动时，样品盘弹性构造可以有效保护样品及探针尖； 9、显微镜高兼容性，可以配置高分辨的显微镜及CCD系统；
变温真空探针台，用于不同环境、不同温度条件下微结构半导体器件、微电子器件及材料电学特性表征。液氮温度-300摄氏度高温连续变化、控制，功能强大，性价比高。为科研必须的实验设备。