三溫區三通道混氣CVD系統

爐體結構

• 采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統，使得殼體表面溫度小于55℃
• 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，*大程度減少能量損失
• 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
• 三個溫區分別被三個獨立的溫控系統控制

功率

9 KW(需要75A的空氣開關 )

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

加熱區

• 總加熱區長度: 25" (630 mm) 
• 加熱溫區1長度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，*高溫度可達1400℃
• 升溫速率: 10°C/min
• 加熱溫區2長度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，*高溫度可達1700℃
•  *快升溫速率: 5°C/min
• 加熱溫區3長度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，*高溫度可達1400℃
• *大升溫速率:  10°C/min

爐管和法蘭尺寸

• 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube
• 尺寸：2-3/8" ( 60mm) O.D.x 2-1/8"I.D. (54mm) x 48" (1200mm) Length
• 一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表
•  儀器中包括4個氧化鋁管堵

溫控系統

• 3個溫控系統，都是PID30段程序化控溫  
• 控溫儀表操作視頻

控溫**度

+/-1°C

低真空系統

• 采用TRP-12的雙旋機械泵，其針對于本公司的管式爐，真空度可達到 10-2 Torr.
• 一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接

 數字式真空顯示計

•  CE認證的皮拉尼式數顯真空計，帶有LED數字式顯示，其量程為10-4 to 1000 Torr.
•  可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。（點擊圖片查看詳細介紹）
  
   

三路浮子混氣系統

• 3個浮子流量計（**度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。
• **路氣體流量范圍為10-100 cc/min. 
• **路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
• 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
• 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接
• 移動架上安裝有4個不銹鋼針閥 

尺寸

高溫爐:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)

質保期& 質量認證

一年質保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) 

 CE certified