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产品资料

反应气体发生器

反应气体发生器
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：反应气体发生器
  • 产品型号：
  • 产品展商：MKS
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
ASTRON系列远程等离子体电源
产品描述


基于NF3等含氟气体电力，产生活性气体，广泛应用于CVD等工艺腔清洗，它具有功能大，效率高等特点。

产品有：


  • ASTRON i-AX7670(3升)
  • ASTRON ex-AX7685(6升)
  • ASTRON hf-s-AX7645(15升,分体式）
  • ASTRON hf-AX7640（15升）
  • ASTRON hf+AX7635（22升）
  • ASTRON hf++AX7667（30升）


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