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产品资料

臭氧发生器

臭氧发生器
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：臭氧发生器
  • 产品型号：
  • 产品展商：MKS
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
SEMOZON 臭氧发生器以及集成系统 LIQUOZON Smart臭氧水循环系统
产品描述

SEMOZON臭氧发生器及集成系统


  • SEMOZON AX8407/8407C高浓度，高流量臭氧发生器 紧凑型臭氧发生器
  • O3MEGA AX8561集成电子流量，压力控制的臭氧发生器系统
  • SEMOZON AX8550 二通道臭氧发生及恒系统
  • SEMOZON AX8555 四通道臭氧发生器集成系统
  • SEMOZON AX8575 多通道臭氧发生器集成系统 可集成冷却水交换器

LIQUZON臭氧水循环系统


  • LIQUOZON Smart臭氧水递送系统。提供高浓度，大流量臭氧水
  • LIQUOZON Single 臭氧水递送系统。紧凑型设计，适用于单片硅片清洗系统
  • LIQUOZON LoopO3 臭氧水循环递送系统。紧凑型设计，带循环水泵，主要用于硅片清洗工艺
  • LIQUOZON PrimO3 臭氧水循环递送系统。高浓度，大流量，带循环水泵，主要用于硅片清洗工资



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