质谱分析仪

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产品名称：质谱分析仪
产品型号：
产品展商：MKS
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简单介绍

Micro Vision2 产品的技术是基于MKS残余气体分析质谱传感头和气体监控系统的核心技术，利用*先进的射频电路模块和数据采集电路模块，具有**的性能，为要求*严格的应用所需，双CPU提供了高稳定的运行，快速和宽范围的动态扫描，使得工艺偏差和气体成分改变的监测变得很容易及**的通讯功能。灵活的输入输出性能，易与机台和其他传感器连接。质量数范围：1-300可选，双检测配置。 eVision 2 基于以太网的低成本的残余气体分析仪。利用Web浏览器或通过EasyView软件方便地操作系统。质量数范围：1-200可选，双检测器配置可选。

产品描述

工艺监控
TOOLweb 工艺和工艺腔环境监测
Vision 2000-B 真空本底残余气体分析仪
Vision 2000-C 化学气相沉积（CVD）工艺残余气体分析仪
Vision 2000-E 刻蚀（Etch）工艺残余气体分析仪
Vision 2000-P 物**相沉积（PVD）工艺残余气体分析仪
200-300mm Resist-Torr 光刻胶检测器
HPQ3 高压残余气体分析仪，主要用于PVD工艺气体检测

大气压气体分析仪
Cirrus 2 四极质谱仪工作在大气压力下的桌上型四极质谱仪，可用于在线测量和分析气体以及其体组成。

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