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Temescal真空镀膜机
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Temescal真空镀膜机
产品资料
Temescal真空镀膜机
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
Temescal真空镀膜机
产品型号:
FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400
产品展商:
Temescal
产品文档:
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简单介绍
Temescal真空镀膜机是Temescal公司明星产品,Temescal成立于1952年,是真空电子束蒸镀技术的***,提供*先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在准确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术,典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡,可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
产品描述
Temescal真空镀膜机产品概述
Temescal
成立于
1952
年,是真空电子束蒸镀技术的***,提供*先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。
Temescal
在准确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术,典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡,可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
Temescal
总部在美国加州,拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门,其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度
LED
、
GaAs
基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械(
MEMS
)和声表器件(
SAW
)等领域拥有很高的声誉和众多杰出用户。
Temescal
上乘的工艺实现能力包括:高均匀性多层膜系工艺设计,*先进的大功率电子枪及控制电源,无死角操作的双开门设计,洁净无油真空系统,多种精密工件架,全自动薄膜工艺控制系统,等等。
Temescal真空镀膜机产品特点
1.
业内独有的真空锁式批量蒸镀系统
2.
整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外
3.
高性能电子枪和控制器
4.
所有
OEM
组件均来自世界**供应商
5.
丰富的剥离
(Lift-off)
工艺经验
6.
高均匀性和高材料利用率
7.
可靠灵活的全自动控制系统
8.
设备性能完全满足
24/7
的严格的
FAB
生产要求
9.
专业的工艺研发和技术支持
Temescal真空镀膜机技术参数
主要型号
1. FC4400
Temescal
*大型标准系统,真空锁结构设计,适合
150mm
以上基片工艺的产能*大化要求
2. FC3800
Temescal
大型标准系统,真空锁结构设计,适合各种高产能应用要求
3. FC/BCD2800
Temescal
中型生产设备,真空锁结构可选,适合
100mm~150mm
晶圆工艺生产
4. FC/BJD2000
Temescal
小型标准系统,尤其适合小规模生产和研发
设备产能
设备型号
: FC/BJD-2000 FC/BCD-2800 FC-3800 FC-4400
2inch
晶圆
: 42 N/A N/A N/A
3inch
晶圆
: 17 47 N/A N/A
100mm
晶圆
: 13 25 53 55
150mm
晶圆
: 5 12 25 30
200mm
晶圆
: N/A 6 14 15
深圳办地址:
深圳市宝安区翻身路
48
区理想居
A
栋
21E
电话: 86-755-61536512,
传真: 86-755-61536610
网址:
http://www.micropowergroup.com
邮件:bowenzhang@micropowergroup.com
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