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HHV真空镀膜系统
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产品名称/型号
产品简单介绍
TF600
HHV TF600真空镀膜系统用于研发和生产 HHV TF600的设计在于提高工艺等级.客户可选择低成本PLC控制或完全PC控制. 600mm 宽腔体可选涡轮分子泵或冷凝泵,同时可用于离子束沉积和刻蚀. 凭借 600mm宽的腔室,客户可选择多种沉积模式和蒸发源以达到*大的生产效率.
Auto500GB
Auto500GB真空镀膜系统设计集成于手套箱内. 系统安装了特殊的腔体,前置开门可在手套箱内取放产品,后置铰链门用于设备维修.蒸发源带温度控制,可用于有机材料的沉积
Auto500
Auto500真空镀膜系统是用于研究和预生产的多用途,前装载的沉积系统. 腔体可容纳大尺寸基板,在不损失真空的环境下进行热阻蒸发,电子束蒸发以及溅射工艺. 真空选件包含扩散泵,涡轮分子泵,干泵及冷凝泵
Auto306
Auto306真空镀膜系统能选配多种真空系统、真空腔室、蒸发镀膜附件,可满足研发实验室的各种需求。用户可选择单个热阻源,或多个蒸镀源,使得在不破坏真空环境的情况下进行多层膜的沉���。一系列的样品夹具、遮挡板、基板加热器、膜厚监测和控制可选择装配在Auto306上,以满足不同实验应用。
HHV/EDWARDS真空镀膜系统
AUTO系列
HHV/EDWARDS真空镀膜系统是英国Edwards公司荣誉产品。HHV Auto系列是一种多功能镀膜设备,设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。 Auto系列可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件,提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。
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