德国海德堡激光直写系统-DWL66激光直写光绘系统,是海德堡公司考虑到客户低成本投入,及增加与客户互动关系理念下所设计的机台,虽价格不高,但他仍然维持了高精密的光绘品质,在微影技术与光学领域的研究发展上都获得了客户相当的满意口碑。同时重接单到持续增加中,更证明了DWL66系统的设计开发理念,用*小的花费提升*高的附加价值。技术参数:加工零件尺寸:150X150mm
绘图头焦距 Write Lens
2mm
4 mm
10 mm
20 mm
40 mm
*小线宽或间距 Minimum Feature
0.6um
1µm
2.5 µm
5 µm
10 µm
书写格网 Write Grid
20nm
40 nm
100 nm
200 nm
400 nm
CD均匀度 CD Uniformity
80nm
220 nm
440 nm
880 nm
线宽均匀度 Line width Uniformity
600 nm
1000 nm
线边粗糙度 Edge Roughness
60 nm
80 nm
120 nm
180 nm
280 nm
对准精度 Alignment Accuracy
250 nm
500 nm
1 µm
2 µm
定位精度 Position Accuracy
0.4 um
0.6 µm
1.5 µm
读写时间 Writing time ( 80x80 mm)
70 hour
19 hour
3 hour
0.9 hour
0.3 hour