DWL200/400是海德堡公司继DWL66后,所开发出来的激光直写设备,海德堡激光直写设备 DWL200/400不仅光绘速快,其精密度更高,质量更好,同时光绘加工面积16"X16",在半导体、微影技术及光学领域中亦倍广泛使用。