质谱仪 - 英国Hiden Analytical Ltd.

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产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	小型在线质谱仪 QIC20	QIC 20 （Atmospheric Gas Analysis System）是完备的台式气体分析系统，可在0.1atm-2atm压力下取样，用于气体、有机蒸气等分析和过程监测。
	二次离子质谱 EQS	EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用*新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。
	等离子体质量和能量分析仪 EQP	Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器（Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics），用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。
	HIDEN过程气体分析 HPR30	HPR-30过程气体分析系统(Process Gas Analyser)，适用于监测分析残余气体和真空过程。
	HIDEN 高压残余气体分析仪 HMN-RC	HIDEN HMT 100－RC 高压残余气体分析四极质谱仪(High Pressure Residual Gas Analyser)，独特的双重模式RGA系统，检测已存在的、或生产过程中形成的气体。针对真空诊断以及过程监测。
	RGA系列残余气体分析仪 HIDEN RGA	HIDEN RGA 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的**分析。

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