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产品资料

HIDEN过程气体分析

HIDEN过程气体分析
  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:HIDEN过程气体分析
  • 产品型号:HPR30
  • 产品展商:其他品牌
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍
HPR-30过程气体分析系统(Process Gas Analyser),适用于监测分析残余气体和真空过程。
产品描述
应用:

    · CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
    · 真空涂覆/ 等离子蚀刻
    · 溅射沉积
    · 污染物研究
    · 基本压力辨别
    · 泄漏探测/ 实质上的泄漏/脱附分析
    · 除气/烘烤/泵效能
    · 反应室/过程气体污染物

特点:

    · 简洁的桌上型,移动推车或控制台架结构
    · Direct re-entrant流孔板,差式泵,以达到*适宜的灵敏度
    · 连续取样从1mbar至 10-4mbar.
    · 高灵敏度(至5ppb),质量数至1000amu
    · 软离子化技术,分析复杂有机物,或表观MS研究
    · 稳定性好(24h之上,峰高变化小于±0.5%)
    · MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
    · 气动阀自动控制;出现电力不足或压力过大等不**状况时
         可启用手动隔离装置
    · 自动、同时数据取得、分析,实时显示、报警

 



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