特点： · 残余气体或泄漏检测 · 实质上的泄漏或脱附分析 · 除气研究 · 烘烤周期 · 泵效能 · 腔室/过程气体污染物 · 灵敏度PPM,质量数至300amu · 稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%） · MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制 · 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰 · 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰 · 同步显示数据图，列表 · 同步背景扣除，自动质量数列表 · 数据输出为ASCII格式，至windows设备 · 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如 Excel、SPC-IV统计过程控制软件等