特点: · 软件控制的离子汲取光学系统,以使等离子体扰动*小 · 45°静电扇区分析器,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM · 所有能量范围内,离子行程的*小扰动,及恒定离子传输 · 带差式泵的三级过滤四极杆,质量数范围至2500amu · 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器,有7个数量级的动态范围 · 可调谐的离子源,用于电子附着选件的表观电势质谱分析 · Penning规和互锁装置可提供过压保护 · 信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化 · 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体 · Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选 · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,控制软件MASsoft