日本YAMATO气体等离子灰化机[产品打印页面]

Model（型号）

PB600

PB1000S

PA600D

Plasma Mode(等离子模式)

DP

DF

DP : Direct Plasma（直接方式）
DF : Downflow（向下流动方式）

High-frequency Output

（高频输出功率）

Max.600W

Max.1000W

Max.600W

Oscillating Frequency

（振荡频率）

13.56 MHz

Dimension of Stage(mm)

（工作台尺寸）

ø200×300

ø300×500

for 6-inch
wafer

Model（型号）

PB600

PB1000S

PA600D

Plasma method（工作模式）

Barred type of DP mode （隔绝型DP模式）

DF mode（DF模式）

Electrode（电极结构）

Split of Opposite electrode structure

（对面分离式构造）

Round type electrode structure（球形构造）

RF generator（高频功率）

0 to 600W

50 to 1,000W

0 to 600W

Oscillating frequency（振荡频率）

13.56MHz

Control system

（控制系统）

Digital display with PLC control

（PLC控制数码显示）

Touch panel with PLC

（PLC控制液晶触摸显示屏）

Digital display with one touch operation

（数码显示单接触运行）

Tuning method（调谐方式）

Automatic and Manual tuning（全自动及手动）

Timer（定时设定）

1 sec. to 9H 59min.59 sec.（1秒---9小时59分59秒）

Chamber（反应室）

Made of quart glass（石英）

Chamber size（反应室尺寸）

ø200×300mmL

ø300×500mmL

Adapt for 6 inch wafer

Chamber temperature(反应室温度)

Digital display（数码显示）

Reaction gas（反应气体）

O2,CF4 or others

O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others

Purge gas（净化气体）

N2 or Dry air（氮气或洁净干燥空气）

Flow meter（流量计）

Flow meter 1 line

（线型流量计）
(O2 0 to 1,000 ml/min.)

Mass flow control with digital display

（聚合控制、数码显示）
(CF4 0 to 300sccm, O2 0 to 1,000sccm)

Vacuum gauge（真空测量）

Piranie type
(0.4 to 3,000Pa/0.004 to 30Torr)

Digital display (0.4 to 3,000Pa/0.004 to 30Torr)

Vacuum pump（真空泵）

250 ml/min.

700 ml/min.

Emargency stop switch（紧急停止）

Push type switch（按动式）

Gas port（反应气体端口）

1 line (1/4" SUS Swagelok)

2 line (1/4" SUS Swagelok)

Purge port（净化气体端口）

1 line (1/4" SUS Swagelok)

1 line (1/4" SUS Swagelok)

Vacuum port（真空端口）

1 line ( SUS NW25)

1 line ( SUS NW25)

External dimensions（外形���寸）

500mmW×600mmD×650mmH

640mmW×850mmD×1,695mmH

650mmW×800mmD×1,500mmH

Power supply（电源规格）

AC200/220/380V, 3 phase
and AC100/220V, single phase

Weight（重量）

Approx. 130kg

Approx. 180kg

Approx. 150kg