日本YAMATO大型等离子清洗机 V1500X 询价或索取资料请点击
Specifications（规格简介）
Model（型号）
V1500X
Plasma method （等离子模式）
RIE • DP mode
Electrode（电极构造）
Parallel flat stage plate
Electrode material（电极材料）
SUS-304
Chamber temperature（工作室温度）
Digital display（数码温度显示）
RF generator（高频功率）
100~1500W
Oscillation（振荡频率）
13.56MHz
Control system（控制系统）
LCD Touch panel with PLC
Tuning method（调谐方法）
Automatic and Manual自动和手动
Timer（定时）
1sec-9H 59min 59 sec
Chamber size（内槽尺寸）
(W)600×(D)550×(H)600mm
Stage size（工作台尺寸）
(W)460×(D)400mm
Chamber material（工作室材料）
Aluminum
Reaction gas（反应气体）
O2,Ar,CF4混和气体
Purge gas（净化气体）
N2 or Dry air
Flow meter（流量计）
Mass flow control 2 line双路聚合控制
Vacuum pump（真空泵排气量）
1,400L/min
Emergency stop switch(紧急停止开关)
Push type switch
Gas port（气体端口）
2 pc (1/4"SUS swage - lock)
Purge port（净化端口）
1pc (1/4"SUS swage - lock)
Vacuum port（真空泵端口）
1pc (SUS NW40)
External dimension（外形尺寸）
(W)900×(D)1,000×(H)1,700mm
Power supply（电源供应）
AC200/220/380V 3 phase 25A
Weight（重量）
Approx. 300kg
粤公网安备 44030902000440号
