日本YAMATO大型等离子清洗机PC1000-5030 询价或索取资料请点击
Specifications（规格简介）
Model（型号）
PC1000-5030
Plasma method （等离子模式）
RIE • DP
Electrode（电极）
Parallel flat stage plate平行平板（电极间距可变）
RF generator（高频输出功率）
100~1000W
Oscillation frequency（振荡频率）
13.56MHz（水晶发振）
Control system（控制系统）
LCD Touch panel with PLC触摸式液晶显示操控盘
Chamber size （工作室尺寸）
(W)600×(D)370×(H)145mm
Stage size（工作台尺寸）
(W)500×(D)300mm
Chamber material（工作室材料）
Aluminum
Reaction gas（反应气体）
O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
Purge gas（净化气体）
N2 or Dry air
Flow meter（流量计）
Mass flow control 2 line（双路聚合流量控制）
Vacuum pump（真空泵排气量）
700L/min
Gas system（气路）
2 line (Reaction gas) , 1 line (Purge gas)
External dimension（外形尺寸）
(W)900×(D)950×(H)1,530mm
Power supply（电源供应）
AC200/220/380V 3 phase 25A
粤公网安备 44030902000440号
