Phasics SID4-UVHR波前传感器
Phasics利用其砖利的四波横向剪切干涉技术，在紫外波前测量提供了优良的解决方案。它有非常高空间分辨率（250x250测量点）和在190-400nm范围具有高灵敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是完全适用于光学元件的特性（用于光刻技术、半导体…）和表面检查（透镜和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地适应各种实验条件。
SID4-UVHR 光学器件测量 自适应光学
特点：
由于其独特的砖利技术技术，Phasics的SID4-UVHR波前传感器具备以下特点：
1.超高分辨率：250x250测量点
2.高灵敏度：0.5nm
3.通光孔径大：8*8mm
4.直接测量：光学元件和表面质量
应用：
SID4-UVHR紫外波前传感器提供应用：
紫外激光器：光束测试与校正
光学测量：UV光学测试（半导体…）和表面测量
SID4-UVHR产品参数：
波长范围
190 - 400 nm
通光孔径
8 x 8 mm2
空间分辨率
32 µm
采样点（相位/强度）
250 x 250 (> 62 500 points)
相位相对灵敏度
0.5 nm RMS
相位精度
10 nm RMS
动态范围
~
采样频率
> 30 fps
实时分析频率
1 fps (full resolution)
数据接口
Giga Ethernet
尺寸(w x h x l)
95 x 105 x 184 mm
重量
~900 g