Phasics SID4系列 波前传感器
法国Phasics 公司的产品基于其波前测量砖利技术，即4 波横向剪切干涉技术。（4-Wave LateralShearing Interferometry）。在增强型改进型哈特曼掩模的基础之上，这种独特技术将超高分辨率和超大动态范围上乘结合在了一起。任何应用下，其都能实现**、简便、快速的测量。
Phasics SID4系列 波前传感器具有如下独特技术优势：
◆高分辨率相位图：可达400ｘ300。
◆可直接测量高发散光束
◆消色差，匹配CCD整个探测范围，用于不同波长光而无需额外校准。
Phasics SID4系列 波前传感器应用方向：
+ 激光束质量分析
+ 自适应光学
+ 光学系统测量
+ 生物成像
+ 热成像，等离子体表面物理
激光光束测量
自适应光学
光学系统测量
Phasics SID4系列 波前传感器产品参数：
型号
SID4
SID4-HR
SID4-DWIR
SID4-SWIR
SID4-NIR
SID4-UV
SID4 UV-HR
孔径
3.6 × 4.8 mm2
8.9 × 11.8 mm2
13.44 × 10.08 mm2
9.6 × 7.68 mm2
7.4 × 7.4 mm2
8.0 × 8.0 mm2
空间分辨率
29.6 μm
68 μm
120 μm
32 μm
采样点/测量点
160 × 120
400 × 300
80 × 64
250 × 250
波长
400nm~1100nm
3~5μm,8~14 μm
0.9 ~ 1.7 μm
1.5 ~ 1.6 μm
250 ~ 450 nm
190 ~ 400 nm
动态范围
> 100 μm
> 500 μm
N/A
~ 100 μm
> 200 μm
精度
10 nm RMS
15 nm RMS
75 nm RMS
> 15 nm RMS
20 nm RMS
10 nm
灵敏度
< 2 nm RMS
< 25 nm RMS
3nm RMS(高增益）
<1nmRMS(低增益）
< 11 nm RMS
2nm RMS @250nm,2μJ/cm2
0.5 nm
采样频率
> 60 fps
> 10 fps
> 50 fps
25/30/50/60 fps
60 fps
30 fps
处理频率
10 Hz (高分辨率)
3 Hz (高分辨率)
20 Hz
> 10 Hz (高分辨率）
10 Hz
> 2 Hz (高分辨率）
1 Hz
尺寸
54×46×75.3mm
54×46×79mm
85×116×179mm
50×50×90mm
44×33×57.5mm
53 × 63 × 83 mm
95×105×84mm
重量
250 g
1.6 kg
300 g
450 g
900 g