黛尔特研制出四氟化碳传感器|NDIR-CF4传感器
黛尔特研制出四氟化碳传感器新闻稿件关键词：四氟化碳传感器、CF4传感器、非分散红外、温室气体
四氟化碳是一种卤代烃，化学式CF4。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。由于CF4的用途广泛,可通过多种途径进入土壤水体、大气形成环境污染。通过扩散并释放在大气中，进入平流层,进而破坏臭氧层。故目前世界许多国家就该类污染物质对臭氧层的影响开展了大量的研究工作,证实了臭氧层的损耗与该系列气体在大气中释放的自由基有关。至���,人类逐渐认识到由于生产活动引起的臭氧层耗损问题,并为解决这一问题进行了有效的国际合作。 黛尔特公司研制的NDIR-CF4红外四氟化碳传感器是一款基于单光源双波长非色散红外测量技术(NDIR)为原理的气体传感器,该传感器是采用**红外光源和探测器，选用镀金器件作为光路通道，可选配气体过滤装置，提高了测量精度和稳定性。
NDIR-CF4红外四氟化碳传感器技术参数
检测原理： 单光源双波长非色散红外(NDIR)
预热时间 ＜5min（预热时间）
流量：0.2~1 L/min
采样方式：管道式
量程：0~1000 ppm
线性误差: ±10 ppm
响应时间: ＜12s(@500mL/min)
重复性（相对标准偏差）:＜1%
检出限: 10 ppm
分辨力: 1 ppm
长期稳定性（零点）: ≤±20 ppm/年
长期稳定性（量程）: ≤±40 ppm/年
温度系数（零点）: ≤±1 ppm/℃
温度响应（量程）: ≤±2 ppm/℃
NDIR-CF4红外四氟化碳传感器应用：
广泛用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体，用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂泄漏检测，也用于高压绝缘开关（GIS）内的CF4气体泄漏监测。
京公网安备 11010202007644号
