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MEMS氢气传感器|氦气传感器 | 热导率气体传感器元件 | 量热计传感器敏感元件芯片 | 皮拉尼真空计传感器

产品图片	产品名称/型号	产品简单介绍
	XEN-5320-HP-CAN氢气传感器	荷兰Xensor Integration公司XEN-5320-HP-CAN是一款智能型氢气传感器\|氦气传感器，可广泛应用于需要分析二元气体混合的行业。该热导传感器采用经验证的热传导传感器XEN-TCG3880，基于测量周围气体热传导率的原理。可能的应用包括氢气和氦气试验、空气喷射和羽流中气体扩散率的检测以及二元气体成分测定。
	XEN-5320 MEMS氢气传感器	Xensor Integration是一家高科技公司，专注于使用计算机芯片技术制造MEMS传感器（微机电系统）的定制设计、原型设计和生产。Xensor拥有一系列现成的标准传感器。如果没有提供您的MEMS气体传感器，可以根据您的规格为您开发定制气体传感器产品。XEN-5320是一种智能气体传感器，在需要分析二元气体混合物的工业中有着广泛的应用。该传感器基于环境气体的热导率测量，使用经验证的热导率传感器XEN-3880。应用包括气体扩散率的检测以及氢气等二元气体成分的测量。
	XEN-TCG3880热导率传感器	Xensor Integration公司XEN-TCG3880是一种薄膜热电堆输出热导率传感器，与传统的热电偶计和皮拉尼真空计计密切相关。它采用氮化硅封闭膜结构设计，具有高灵敏度和分辨率。测量原理依赖于传感器敏感区域和环境之间的有效热阻的降低，这是由周围气体的热导率引起的。传感器标准安装在TO-5集管中，但也有不同的外壳（如LCC-20和KF-16和KF-40真空法兰中的封装）。因此，它可以衡量：气体分子的类型（热导率测量）和气体分子的压力（真空测量）。薄膜热电堆真空传感器的稳定性和精度可与标准皮拉尼真空计相媲美。
	XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件	Xensor Integration公司拥有一系列现成的标准MEMS热导率气体敏感元件和气体传感器。经典的XEN-3880和XEN-3920热导率气体敏感元件和XEN-5320是一种智能气体传感器，在需要分析二元气体混合物的工业中有着广泛的应用。XEN-5320使用经验证的热导率传感器敏感元件XEN-3880，该气体传感器基于环境气体的热导率测量。XEN-3880、XEN-3920和XEN-5320应用包括皮拉尼真空计、气体扩散率的检测以及氢气等二元气体成分的含量测量。 Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920热导气体敏感元件测量流经其表面周围气体的热导率。根据气体热导率不同的原理，它可用于测量二元混合物或准二元混合物中的气体浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它也可以用于测量真空系统中的
	XEN-3920热导率气体传感器敏感元件	Xensor Integration公司XEN-3920热导率气体传感器元件测量周围混合气体的热导率。根据气体热导率不同的原理，它可用于测量二元混合物或准二元混合物中的气体浓度，其中组分气体具有不同的热导率。它也可以用作Pirani压力计（皮拉尼真空计）来测量真空系统中的压力。热导率气体传感器芯片由一个带有2个氮化硅膜的硅边缘组成。XEN-3920在每个膜的中心是一个加热器，带有测量其温度的传感器敏感元件，敏感芯片测量环境和膜中心之间的气体热导率。
	XEN-393量热计传感器	荷兰Xensor Integration公司提供XEN-393是一系列微加工薄膜量热计传感器芯片，设计用于高温扫描率下的小样本测量。XEN-393系列采用铝电极互连，这限制了它们的温度范围低于XEN-394系列，后者采用金电极互连。该量热计传感器采用单面超薄氮化硅薄膜，具有对环境热阻高、时间常数小等特点。这使得这些传感器特别适用于气体介质环境中的测量和快速测量，如快速扫描量热法。
	XEN-39390热量计\|量热计敏感元件	Xensor Integration公司提供XEN-39390系列XEN-393和XEN-394热量计\|量热计敏感元件基于单一SiN（氮化硅）薄膜的量热计敏感元件芯片。它们具有不同尺寸的加热取样区域。XEN-393和XEN-394取样面积从8x14μm2到1x1 mm2不等。XEN-39390系列具有铝金属化，温度范围从0K到800K。取样面积越小，上部扫描速率越快，Max.高可达10MK/s。列XEN-393和XEN-394热量计\|量热计敏感元件标准外壳为TO-5金属筛网管帽、带柔性连接器的陶瓷基板L或CC-20。
	XEN-3880-RW皮拉尼真空计传感器	XEN-3880-RW皮拉尼真空计传感器：MEMS皮拉尼真空测量技术的变革:MEMS Pirani可以在平衡惠斯通电桥中操作；然而，桥接电路中的单个元件与多个温度系数因素有关，这些因素共同导致测量漂移、不稳定性和噪声。因此，惠斯通电桥电路不是用于实现高性能的实用设计，并且所使用的传统电路已经被先进的信号和数据处理所取代。MEMS Pirani真空计技术的展示了一种新的技术，该技术将新颖的MEMS传感器设计与操作MEMS Pirany真空传感器的方法相结合。荷兰XENSOR INTEGRATON开发的技术采用先进的精密数字信号处理技术，消除了传统的皮拉尼-惠斯通电桥电路。与传统的Pirani真空计传感器操作相比，温度补偿和热损失测量转换为校准真空气体压力读数的数字方法已被证明可以提高测量性能。

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