ADTS552F大气数据测试仪和硅谐振硅压力传感器技术

DRUCK德鲁克ADTS552F大气数据测试仪和硅谐振硅压力传感器技术

德鲁克ADTS552F大气数据测试仪是航空工业中使用的先进的动静压系统校准仪器，用于测试和校准高度表、空速表和升降速度表、和大气数据计算等大气数据系统仪器。其关键技术进步之一是集成了沟槽刻蚀谐振硅压力传感器技术（TERPS），提高了其精度、可靠性和性能。它为飞机维修制造车间和现场使用而设计，使其成为飞机维护、飞行前检查和故障排除的通用工具，广泛应用于航空业，以确保关键飞行航空仪表的准确性和可靠性。

1.高精度和准确度：
-沟槽刻蚀硅谐振硅压力传感器以其良好的精度而闻名，通常在满量程的±0.01%以内。
-该技术使ADTS552F能够测量高精度的压力和真空信号，用于模拟高度、空速和爬升/下降速度。

2.稳定性和重复性：
-沟槽刻蚀硅谐振硅压力传感器具有出色的长期稳定性和可重复性，减少了频繁重新校准的需要。
-这确保了随着时间的推移性能的一致性和可靠性（长期稳定性）。
3.宽压力范围：
-ADTS552F涵盖了广泛的压力和真空水平，使其适用于模拟各种飞行条件。
-典型压力范围：-15至150 psi（确切范围可能因型号规格而异）。
4.快速响应时间：
-谐振硅传感器能够快速响应压力变化，从而在测试过程中实现实时调整。
-这对于模拟动态飞行条件尤为重要。
5.环境温度补偿：
-传感器包括内置的温度和环境补偿机制，以在不同条件下保持精度。
-这确保了在受控车间环境和恶劣现场条件下的可靠性能。
6.耐用性：
-谐振硅传感器坚固耐用，耐磨损，适合在要求苛刻的航空环境中长期使用。

• 飞机维护：在日常维护期间或维修后校准和测试大气数据航空仪器。
• 飞行前检查：飞行前验证高度计、空速指示器和垂直速度指示器的准确性。
• 故障排除：通过模拟特定的飞行条件来诊断皮动静压系统或航空仪表的问题。
• 法规遵从性：确保飞机符合航空当局对被测的大气数据计算机等大气数据航空仪表的精度和性能的要求。

ADTS552F大气数据测试仪TERPS®（沟槽蚀刻谐振压力传感器）技术

TERPSTERPS®是一种谐振硅MEMS（微机电系统）压力传感器技术，可提供很高水平的性能。这种谐振硅压力传感器技术在设计和制造方面进行了几项关键创造，其精度和稳定性是传统压力测量技术的10倍。Druck的市场领跑的专有压力传感技术，在用于Druck的压力传感器、校准器、控制器和皮托静压测试仪时，提供了很好的精度、稳定性和精度规格。经过近十年的严格比较测试，证明TERPS®技术为客户提供了良好的稳定性（低漂移）、准确性、鲁棒性和速度。在同类比较中，Druck的压力产品组合 采用TERPS®性能，其精度和稳定性比传统的硅基传感技术高出10倍以上。其他可用的压力测量技术，如石英、薄膜或光学压力，无法与TERPS®相比。

• 通过使用绝缘体上硅（SOI）来控制谐振结构的厚度和质量，从而确定谐振频率；
• 通过使用深反应离子蚀刻（DRIE）来创建定义良好的特有结构，以实现动态质量和力平衡，从而对介质粘度不敏感；
• 通过使用DRIE创建复杂的低阻抗传感技术来实现恶劣的介质隔离；
• 通过使用硅熔融键合（SFB）实现低热滞和低压滞

数据支持的令人难以置信的谐振性能——在±0.0015%FS（15ppm）的条件下，TERPS®的精度和稳定性是标准硅传感器的十倍。TERPS®已经过第三方的严格测试，结果可用，向客户展示了其良好的稳定性和准确性。低成本高性能-TERPS®比石英更具弹性，提供石英精度和稳定性，但具有在恶劣环境中具有弹性的额外优势，并且成本仅为石英的一小部分。在短交付周期内实现产品灵活性——将TERPS®作为密封单元集成到传感器中，使TERPS能够生产出具有广泛可变功能的产品。TERPS交付迅速，消除了与石英交付周期相关的问题。与传统传感技术相比 ，TERPS®准确度x10、精度x10、稳定性x10。

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• 水文学和海洋学
• 水位监测-潮汐、压载舱、海啸探测
• 气压计和气象站
• 涡轮机控制和优化
• 工业自动化中的压力测量与控制
• 良好的精度和稳定性意味着更少的维护和更少的校准停机时间