六氟化硫传感器检测技术

SF6六氟化硫传感器检测技术

SF6传感器的检测技术之一：微流热导技术

热导原理SF6纯度传感器根据被测SF6气体和背景气体的热导率数不同来计算其中SF6气体组份的含量。当敏感元件吸附被测气体时，热导率发生变化，通过调理电路将热导系数变化转为电压变化，据此可检测气体中浓度或含量。热导法主要应用在高压绝压开关内的六氟化硫纯度分析（90%-100%Vol.）。TCD-SF6传感器量程是0-100Vol.管道式传感器，可以用于高压开关内的六氟化硫传感器纯度检测。SF6纯度传感器主要用于测量SF6与空气、SF6与N2混合��体的SF6气体纯度（百分含量）。六氟化硫纯度分析仪器采用目前世界上先进的恒温的微型热导池，可快速准确地测出SF6纯度（百分含量），一般情况下，寿命可达8-10年。

采用非分散红外（NDIR）原理的六氟化硫纯度传感器测量SF6浓度在95%以上时，由于信号趋于饱和，数值具有很大的波动性，同时重复差，无法满足高压开关内六氟化硫纯度高精度测试的要求。SF6-100热导式传感器是采用MEMS技术设计的一款SF6气体纯度传感器，通过直接测量气体热导率方式运行，内部没有加热灯丝，也不需要参考气。SF6-100传感器没有采用传统的大功率的恒温气室设计，而采用独特温度补偿的算法，可在-40℃~+85℃下保证测量准确度和重复性，且波动性很小。传感器同时功耗只有0.15W，是传统的热导原理传感器的1/20。SF6-100传感器同时对湿度进行修正，达到±1%FS测量精度。

SF6-100采用的专有的精密的电路设计，T90响应时间（@1000ml/分钟）非常快，只有3秒，达到读数稳定的时间T100为8秒，而传统的热导传感器需要120~150秒。SF6-100无需加热恒温的等待（至少30分钟加热时间），从开机到测量工作结束大约需要在2分钟内完成，极大地提高了测量效率。SF6-100的体积小、低功耗和重量轻（约150g）的特点，非常适合集成便携式SF6仪表内。

低功耗快速响应SF6传感器产品优点

• 无需加热恒温等待，即插即用
• 低功耗，约0.15W
• 快速响应，约3秒(T90，@1.0L/min.)。
• 外形尺寸小、重量轻(150g)
• 温度和湿度修正补偿
• 同时测量六氟化硫(SF6)浓度、相对湿度（RH）和温度三个参数
• 0.5~2.5VDC和5V TTL输出
• -40~+85℃宽的工作温度范围
• 长达10+年的使用寿命
• 精度高，重复性好，波动小，适合纯度测量

非分散红外NDIR六氟化硫传感器采用双光束非分光红外线(NDIR)检测技术。设有测量通道和参考通道,分别加装不同波长的滤光片，使之获得不同波长的红外光，测量通道内波长位于10.55微米SF6的吸收峰上，参考通道则不在SF6的吸收范围内（4.96微米）。检测通过两个通道的红外光，并做对比调制，比值即表征了被测气体中的SF6浓度。适合在线SF6泄漏监测（0-1500 ppm）和手持式定量SF6检漏仪(0-50 ppm)。非分散红外原理六氟化硫传感器不太适合应用SF6纯度测试（90%Vol.~100%Vol.），主要原因是SF6分子吸收比较强，测试波动度大。

与单波长单光束相比，双波长双光束技术可以避免因为光源的老化、采样池和检测器表面污染而引起的漂移。参比通道的被调制的特定波长的单色光不会对被测量气体产生吸收。 它产生一个稳定的信号，此信号只受外部影响而变化，不受被测量气体影响。