InnaLabs石英加速度计结构原理

InnaLabs石英加速度计结构原理

石英挠性加速计|石英摆式加速度计|石英加速度计技术资料下载

安装到导航系统、制导系统以及控制系统中的加速度计必须满足对精度、稳定性和线性度等方面的苛刻要求。目前，仅有两类结构原理产品的技术能够满足要求，即振梁加速度计和石英摆式加速度计，石英加速度计自20世纪90年代问世以来，迅速成长为上等导航应用领域使用zui为广泛的一种加速度计，其地位至今仍丝毫未被撼动。

一、InnaLabs石英加速度计结构原理

InnaLabs^®公司摆式石英加速度计检测质量的核心部件是一块高纯度熔融石英摆片，由两个薄铰链连接到刚性外框架上；摆片为单片结构；摆片上的电极图形是使用金膜沉积而成，用于电容检测和连接力矩导线。 InnaLabs^®公司生产石英摆时选用传统湿法刻蚀技术，属于晶片级工艺。石英加速度计外框被两块呈对称分布的磁钢组件夹在中间，磁钢组件包括高稳定性磁钢和镍铁合金壳，从而形成石英加速度计单元的总体结构。在摆片和磁钢组件之间留有20μm的小间隙，旨在摆片的两边构建一个由两个电容极板组成的系统， 用于电容检测和挤压膜阻尼。当检测质量被垂直施加加速度时，伺服回路电路从检测电容获得误差信号并将电流传送进摆片两边对称安装的两个线圈中。然后，在输入加速度宽频带范围内（如：典型值>2 kHz），对线圈施加拉普拉斯力，这样，检测质量将会保持在零位，其中心在零位位置上。当通过线圈的电流与施加的加速度成正比时，同样流经外部负载电阻的电流会产生与加速度成正比的输出电压。石英加速度计单元与一块电子感应电路板相连，电路板上装有用于控制摆角位置的伺服回路和温度敏感器。所有这些零部件都被固定到一个气密金属壳体中，从而组成一套完整的加速度计产品。

二、InnaLabs石英加速度计产品线

爱尔兰Innalabs公司石英加速度计产品系列：导航级：AI-Q-2010，AI-Q-2020，AI-Q-2030；控制级：AI-Q-550，AI-Q-1410；测量级：AI-Q-710；工业级：AI-Q-560，AI-Q-810，AI-Q-2071，AI-Q-2110，AI-Q-2120和AI-Q-2030。 

Innalabs公司石英加速度计产品均在爱尔兰都柏林批量批产，属于“ITAR FREE”型产品，即不包含美国零部件，不需要遵守国际武器贸易条例，可以合法出口，目标市场主要是导航、战术、控制与测量等惯性领域。