Xensor Integration公司XEN-39472量热传感器芯片中温度分布的高速动力学
罗斯托克大学 University of Rostock
薄膜量热法是一种强大的工具，用于研究各种材料及其在纳克范围内非常小的样品的相变。超快芯片量热法在技术上对重要的聚合物、金属和复合材料的结晶动力学和成核机制研究方面取得了巨大进展。超快芯片量热法的进步提供了在微秒甚至更快的时间尺度上产生非平衡态和研究相变动力学的可能性。
罗斯托克大学进行的实验侧重于Xensor Integration的XEN-39472量热传感器中温度分布的动力学以及超快量热法的理论背景。
Xensor Integration公司XEN-39472微机械薄膜热量计传感器芯片，专为高温扫描速率下的小样品测量而设计
量热计传感器膜中心部分的放大图像：在红外和普通光下俯视传感器。颜色代码对应于相对单位的红外强度
扫描速率与温度关系
参考资料
原始作品的段落主要用于说明XEN-39472量热传感器在实验应用中的使用。请联系原作者或官方分销商以获取完整出版物。
通过高分辨率A.Minakov、J.Morikawa、E.Zhuravlev、M.Ryu、A.W.van Herwaarden和C.Schick的红外热成像测量的超快（高达108 K/s）芯片纳米量热计中温度分布的高速动力学在线发表：2019年2月1日
High-speed dynamics of temperature distribution in ultrafast (up to 108 K/s) chipnanocalorimeters, measured by infrared thermography of high resolution A. Minakov, J. Morikawa, E. Zhuravlev, M. Ryu, A. W. van Herwaarden, and C. Schick Published Online: 01 February 2019
关于荷兰Xensor Integration公司
Xensor Integration是一家高科技公司，专注于使用计算机芯片技术制造MEMS传感器（微机电系统）的定制设计、原型设计和生产。Xensor拥有一系列现成的标准MEMS热导率气体敏感元件、气体传感器和量热计传感器芯片。经典的XEN-3880和XEN-3920热导率气体敏感元件和XEN-5320是一种智能气体传感器，在需要分析二元气体混合物的工业中有着广泛的应用。该传感器基于环境气体的热导率测量，使用经验证的热导率传感器XEN-3880。XEN-3880和XEN-5320应用包括皮拉尼真空计、气体扩散率的检测以及氢气、氦气等二元气体成分的测量。
量热计传感器芯片
Xensor Integration公司XEN-393和XEN-394系列微加工薄膜热量计传感器专为高温扫描速率下的小样品测量而设计。XEN-393系列采用铝互连制成，将其温度范围限制在比具有金互连的XEN-394系列更低的范围内。量热传感器具有单层或双层超薄氮化硅膜，其特征是对环境的高热阻和非常小的时间常数。这使得这些传感器特别适用于气体环境中的测量和快速测量，如快速扫描量热法。
